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台阶仪，又名探针式表面轮廓仪，用于样品表面从微米到纳米尺度的轮廓测量，是微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、医疗、科学研究和材料科学等领域不可缺少的关键测量设备。长期以来，此类仪器被美国Bruke、美国KLA、日本Kosaka三家厂商垄断，国内尚无厂商可提供同类产品。

直到2022年6月，松山湖材料实验室精密仪器研发团队自研的台阶仪出货交付，实现了国产化台阶仪零的突破！

自研的台阶仪

2020年冬，实验室组织走访调研半导体行业相关企业，了解到企业进口台阶仪受到一定限制，不少企业明确提出对国产化台阶仪的需求。为了满足在当前国际竞争形势下的行业共性需求，避免关键设备被“卡脖子”的风险，精密仪器研发团队当即研讨立项，将国产化台阶仪开发提上日程。

团队负责人许智指出，台阶仪的研发，需要“四个超”：超精细的运动控制，超精密位移传感，超低噪声信号采集，超高平整度零部件等关键技术。

精密仪器研发团队在这些方面均有丰富的经验积累和扎实的技术储备，基于此前自主研发的系列化压电驱动纳米位移台产品和扫描探针显微镜制备技术，项目组快速完成方案设计，并开始功能样机、工程样机的迭代开发。

回望研发过程，可谓“一波三折”，研发团队感慨道。由于疫情，人员封控，物流暂停，供应商供货延期，芯片价格又逐日飙升，研发进度受阻。面对接踵而至的难题，团队加班加点攻关抢进度，终于在今年6月研发成功。订单交付当天，团队所有人都有一种难以言表的满足感。

研发人员调试样机到深夜

精密仪器研发团队台阶仪项目组

至此，国产化台阶仪迈出了里程碑式的一步。科技创新的重要性不言而喻，用于科技创新的仪器设备同样重要，团队负责人许智谈到，关键测量仪器设备实现国产化，最关键之处就在于实现了自主可控。

据了解，现已交付的台阶仪可满足企业实际使用的指标要求，且对比同类进口设备，成本降低了约30%。项目组研制了三种不同测试需求的型号，可供客户根据需要选择相应配置，并配套自研软件实时显示测量图表数据。目前，团队正在与十余家有相关需求的企业、科研院所洽谈合作中。

精密仪器研发团队

松山湖材料实验室精密仪器研发团队以自主知识产权的技术为核心，开展精密科研仪器和工业自动化设备的产业转化。桌面式扫描电子显微镜、大行程纳米位移台等产品为国内唯一量产。等离子体化学气相沉积系统、扫描隧道显微镜系统等产品达到国际一流、国内领先水平。

团队产业化公司东莞市卓聚科技2020年落户松山湖国际创新创业社区，销售额当年破百万元，2021年销售额超千万元。在松山湖材料实验室的支持下，精密仪器研发团队以国家战略为导向，以市场需求为目标，力争成为有担当、有作为的尖端仪器产业化队伍。